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Plan de limpieza
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Plan de limpieza

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清洗方案

  • Ideas

  • Tecnología de limpieza Dry

  • Tecnología de limpieza de partículas de CO2

  • Tecnología de limpieza por plasma

Ideas

1. importancia del proceso de limpieza

En la industria manufacturera, es muy importante lograr una producción de alta calidad, alto rendimiento, alta producción y bajo inventario.

Con la creciente popularidad de internet, las tecnologías de la comunicación y las tecnologías de procesamiento de la información, especialmente para los equipos de fabricación de semiconductores y la alta precisión de los sistemas de producción y fabricación, la importancia del proceso de limpieza es evidente.

El proceso de limpieza es muy importante para mejorar el valor empresarial de los clientes.

2. Programa de limpieza Hitachi de alta tecnología

[eliminación de partículas extrañas · contaminantes]
A lo largo de los años, nuestra empresa se ha comprometido con la producción y fabricación de equipos de fabricación de semiconductores, instrumentos de análisis de precisión, etc.

[análisis · análisis de partículas de cuerpos extraños · contaminantes]
Hay muchos clientes que utilizan microscopios electrónicos producidos por nuestra empresa, varios dispositivos de análisis y dispositivos de inspección de cuerpos extraños.

[eliminación de partículas extrañas · contaminantes]
Nuestra empresa ha proporcionado a muchos clientes sistemas de limpieza, incluida la tecnología de limpieza wet / Dry y la tecnología de control ambiental.

Sobre la base de esta tecnología y experiencia, junto con la cooperación técnica con los socios y la tecnología digital
Hitachi High - Tech se compromete a proporcionar las mejores soluciones a los problemas de limpieza de los clientes.

3. crear valor a través de la cooperación con el cliente en el proceso de limpieza

Es importante acumular tecnología y experiencia en su propia empresa. Pero no todas las tecnologías deben establecerse en su propia empresa.

Respondemos a los requisitos del mercado lo más rápido posible y a precios competitivos.

Resolver el problema de la limpieza con los clientes es nuestro concepto de Hitachi High - Tech.

実現高品质・高产量

Sistema de apoyo al cliente

客戶支援系統

Tecnología de limpieza Dry

Ciencia de la calidad cleanlogix Technology

El objetivo de nuestra empresa es resolver los problemas de limpieza de los clientes con la tecnología de limpieza Dry de baja carga ambiental como núcleo.

现存清洗方法的问题点

我公司的提案:「CO2微粒子技术」「等离子技术」为核心的清洗方案

Proceso aplicable

  • Eliminación de partículas
  • Cuerpos extraños orgánicos, eliminación de residuos
  • Mejora superficial
  • Eliminación del agente de desprendimiento de película

Áreas de aplicación

  • Piezas electrónicas
  • Semiconductores
  • Maquinaria de ultraprecisión
  • Piezas ópticas
  • Automóviles
  • Dispositivos médicos
  • Alimentos · equipos de bebidas
  • Pintura en aerosol
  • Formación de moldes

Ejemplos de limpieza en el proceso de montaje de lentes CMOS

① componentes del objeto

② métodos existentes

  1. Eliminación de monómeros de materia orgánica y partículas extrañas adheridas
  2. Limpiar con aire las partículas de cuerpos extraños que se mezclan en el montaje

→ problemas de calidad: la materia orgánica en el interior de la lente y las partículas de cuerpos extraños adheridos son difíciles de eliminar

③ contramedidas

④ automatización (ejemplo)

Tecnología de limpieza de partículas de CO2

Ciencia de la calidad cleanlogix Technology

CO2微粒子清洗机 CL-JETSeries

Principio de limpieza

清洗原理

  1. Las partículas de CO2 generadas se expulsan junto con el gas auxiliar
    (gas auxiliar: aire seco limpio o n2)
  2. Las partículas de CO2 se licuan cuando golpean el objeto limpiado
    CO2 líquido perforado en el borde de un cuerpo extraño
    Desprendimiento de partículas de cuerpos extraños desde la superficie (limpieza física)
    Y reacción de disolución con materia orgánica (limpieza química)
  3. El CO2 líquido se gasifica para sacar partículas de cuerpos extraños y materia orgánica de la superficie del objeto limpiado para lograr la limpieza.

Ejemplo de limpieza

Tinta oleosa

清洗前
Antes de la limpieza

清洗后
Después de la limpieza

Lentes (huellas dactilares, tinta oleosa)

清洗前
Antes de la limpieza

清洗后
Después de la limpieza

Unidad de píxeles del sensor CMOS (materia orgánica)

清洗前
Antes de la limpieza

清洗后
Después de la limpieza

Especial

Utilizar la tecnología de control del tamaño de las partículas de CO2 para generar las partículas óptimas (0,5 a 500 micras)

  • Rociar partículas de CO2 sobre el objeto limpiado con gases auxiliares como el aire seco limpio
  • El gas auxiliar calentado puede evitar la condensación, y las partículas pueden lograr una limpieza de bajo daño.
  • La construcción especial de la boquilla puede lograr una alta definición de lavado y una baja pérdida de co2.
  • En comparación con los métodos de limpieza con agua y líquido medicinal, es más ecológico.
    (el CO2 es un recurso reciclado de los gases de escape)

Principales patentes

US7225819B2/US6656017B2/US6802961B2/US7601112B2/US7901540B2/US8021489B2/US5725154A/US7451941B2/US9381574B1/US9352355B1/ US9387511B1/US8197603B2/US6979362B2/TWI577452B

Apariencia del dispositivo

装置外观

Tecnología aplicada

Tecnología compuesta por plasma

等离子复合技术

Tecnología de limpieza por plasma

Ciencia de la calidad cleanlogix Technology

La tecnología de tratamiento de superficie de precisión que utiliza plasma está evolucionando constantemente.

Las principales reacciones que se producen durante el tratamiento por plasma

等离子处理时发生的主要反应

Características

  1. Lograr una limpieza fina que no se puede alcanzar con la limpieza húmeda
  2. La tecnología ICP sola puede producir una amplia gama y altas concentraciones de plasma
  3. Los ricos tipos de plasma se pueden utilizar para una variedad de usos.

Ccp: plasma acoplado capacitivamente (plasma acoplado capacitivamente)
Icp: plasma acoplado inductivamente (plasma acoplado inductivamente)

Uso y consecuencias de los dispositivos de plasma

Uso y consecuencias de los dispositivos de plasma
Uso Tipos de plasma Proceso Fruit Área
Desembalaje Tipo de vacío Después del tratamiento de perforación láser Desembalaje Sustrato flexible, sustrato rígido
(limpieza de pequeños agujeros de tamaño de 20 a 100 micras)
Limpieza Tipo de vacío
Tipo de presión atmosférica
Antes de la Unión
Antes del cierre de la resina
Mejora de la adherencia
Mejora de la humedad
・ tratamiento previo a la pintura de ic, LED y LCD
・ preprocesamiento de adhesión de sustratos de materiales 5G como lcp, PFA y PTFE
・ acortar el tiempo necesario para el proceso de desgasificación de piezas de vacío
Mejora superficial Tipo de vacío
Tipo de presión atmosférica
Antes de la galvanoplastia
Antes del ajuste y antes de la pintura
Mejora de la densidad · sustrato flexible, sustrato rígido
· vidrio lcd, vidrio OLED - Ito
  • Puede eliminar los residuos de resina producidos durante el procesamiento de pequeños agujeros de 100 a 20 micras.
  • Se puede utilizar para la limpieza de nuevos sustratos de material para 5G como "lcp", "pfa" y "ptfe" antes de la Unión y antes del tratamiento de pintura.
    Y la mejora de la adherencia del sustrato después de la limpieza antes del tratamiento de pintura
  • Acortar el tiempo necesario para el proceso de desgasificación de piezas de vacío

LCP: Liquid Crystal Polymer
PFA: PerFluoroAlkoxy
PTFE: PolyTetraFluoroEthylene

Serie de dispositivos

真空等离子装置
Dispositivo de plasma de vacío

真空清洗装置
Dispositivo de limpieza al vacío

大气压等离子装置(远程控制式)
Dispositivo de plasma atmosférico
(control remoto)

大气压等离子装置(电弧喷气式)
Dispositivo de plasma atmosférico
(chorro de arco)

Ejemplo de aplicación

< ejemplo de eliminación de materia orgánica >.

Material ABF de plasma de vacío (gas CF4 + o2)

清洗前
Antes de la limpieza

清洗后
Después de la limpieza

Detección de huellas dactilares de plasma de vacío descum (gas CF4 + o2)

< ejemplo de mejora de la superficie >.

Plasma atmosférico (utilizado en cda)

分析·检查技术请点击!

DRY清洗技术请点击!

环境技术(在准备)

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