1. características técnicas

lMicroscopía binocular de doble campo de visión de alta potencia y22La pantalla LCD de pantalla ancha de pulgada observa el proceso de alineación al mismo tiempo y proporcionaUSBSalida; No sólo satisface la alineación de alta precisión, sino que también se puede utilizar para detectar los resultados de la exposición, y los resultados de la exposición y el almacenamiento conveniente.

lCon iluminación invertida, es más conveniente reemplazar la lámpara de mercurio, y el efecto de disipación de calor y prevención de fugas de luz es mejor.

lLas estaciones dobles de alineación y exposición funcionan, y las estaciones dobles cambian automáticamente.

lCon computadoras incorporadas- sí.Operación de pantalla táctil, más conveniente de operar, más de moda

lLas películas y versiones superiores e inferiores son muy convenientes, altamente automatizadas y fáciles de operar. Para la enseñanza y la investigación científica en colegios y universidades (buena fiabilidad, fácil demostración) y fábricas(Alta eficiencia(...)Especialmente adecuado

2. parámetros técnicos

lÁrea de exposición:100mm×100mm(se puede actualizar a6Pulgada)

lLongitud de onda de exposición:365nm

lResolución:≤1mm(espesor del pegamento1.5 mmZhengjiao)

lPrecisión de alineación:±0.6mm

lRango de movimiento de la Mesa de escaneo del microscopio:X:10mm;Y:10mm

lTamaño de la máscara:2.5Pulgadas,3Pulgadas,4Pulgadas,5Pulgada

lTamaño de la muestra: diámetrof15mm--f100mm(todo tipo de películas irregulares)

Espesor0.1mm--6mm

lMétodo de exposición: cronometrado (método de cuenta atrás) y dosis fijas

lCon exposición al contacto al vacío, exposición al contacto duroLuzCuatro funciones: exposición al contacto a presión y exposición cercana

lUniformidad de la iluminación: 3Porcentaje（f100mmAlcance)

lMicroscopio de alineación de doble campo de visión binocular: se puede pasar tanto por las gafasVisión visualAlineación, también se puede pasarCCD+Alineación de la pantalla, fusión óptica, múltiplo máximo óptico400Veces, óptica- sí.Amplificación electrónica800Veces

Tres pares de lentes:4Veces,10Veces,20Veces

Tres pares de gafas:10Veces,16Veces,20Veces

lNivelación de la presión de contacto a través del sensor para garantizar la repetición

lConfiguración digital de las brechas y brechas de alineación

lTiene una interfaz de módulo de impresión y una interfaz de módulo de proximidad.

lEl recorrido de la máscara en relación con la muestra:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±¿6?

lEspesor máximo de enfoque:400mm（SU8Pegamento, el usuario proporciona las condiciones de detección)

lParalelismo de la fuente de luz:3¿¿ qué?

lDensidad de energía de exposición:>25mW/cm2,Temperatura de la superficie de iluminación< 35¿¿ qué?C

lExposición de una sola capa completada con un solo clic

lUso de flotación esférica- sí.Nivelación de tres garras

lPotencia de la lámpara de mercurio:350W(dc,Importación(...)

3. tamaño exterior:1400mm(largo)¿¿ qué?900mm(Ancho(...)¿¿ qué?1500mm(alto)

4. configuración

（1) cabeza expuesta

lElipsoide de luz fría

l350WLámpara de mercurio de alta tensión DC importada(Osran, Alemania(...)

lXYZMesa de ajuste de lámparas de mercurio

lVentilador de refrigeración

lSistema óptico: barra de luz fija, barra de luz variable, obturador, espejo colimador1, espejo colimador2, Grupo de lentes de ojos de Mosca..79Lentes individuales)iFiltro de línea, espejo de campo, espejo de luz fría1, espejo2

（2) alinear la Mesa de trabajo

lBase de la fotolitografía

lMesa de cambio de estación (cilindro)

lMesa deportiva integral de la muestra de máscara

lLa muestra de máscara se enfrenta a la Mesa de movimiento

lMesa giratoria

lMecanismo de Nivelación de muestras,Se completa automáticamente a las tres

lMecanismo de enfoque de muestra, ajuste automático del motor

lMecanismo de tracción de base superior e inferior

lPlataforma de soporte4Uno:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm(se puede aumentar o disminuir según los requisitos del usuario)

lClip de máscara4Uno:2.5Pulgadas,3Pulgadas,4Pulgadas,5Pulgadas (se puede aumentar o disminuir según los requisitos del usuario)

lMecanismo de tracción de muestra superior e inferior

（3) microscopio de alineación

lFuente de luz, Fuente de alimentación

lBinocular y campo de visión doble alinean el cuerpo del microscopio

lGafas oculares3Sí..10Veces,16Veces,20Veces, un total6(individual)

lObjetivo3Sí..4Veces,10Veces,20Veces, un total6(individual)

lCCDEl sistema de alineación,22Pantalla LCD de pulgada

（4) Sistema de control eléctrico

lFuente de alimentación de activación de la lámpara de mercurio(350WLámpara de mercurio DC(...)

lSistema de control de un solo chip

lPanel de control

lMesa del Gabinete de control

（5) sistema neumático

lCilindros, válvulas solenoides, válvulas reductoras de presión, interruptores neumáticos, etc.

lAccionamiento de válvula solenoide

lInstrumentos neumáticos

（6Otros anexos

lUna bomba de vacío

lUn compresor de aire

lTuberías de interfaz de apoyo

（7) información técnica

lInstrucciones de uso y mantenimiento

lCertificado de inspección del producto