Características técnicas de la fotolitografía de profundidad ultravioleta URE - 2000 / 17:
Alineación con un Microscopio Binocular de campo de visión doble; El tazón de bola se nivela, el control de un solo chip, el interruptor táctil, la operación es conveniente y la practicidad es Fuerte.

1. parámetros técnicos

lÁrea de exposición:4Pulgada

lLongitud de onda de exposición:365nm

lResolución:1.5mm(espesor del pegamento2 mmZhengjiao)

lPrecisión de alineación:±1mm

lAlcance general del Movimiento de la muestra de máscara:X:15mm;Y:15mm

lTamaño de la máscara:2.5Pulgadas,3Pulgadas,4Pulgadas,5Pulgada

lTamaño de la muestra: diámetrof15mm--f100mm

Espesor0.1mm--6mm(Se puede ampliar a15mm)

lMétodo de exposición: cronometrado (método de cuenta atrás) y dosis fijas

lUniformidad de la iluminación: 5Porcentaje（f100mmAlcance)

lMicroscopio de alineación de doble campo de visión binocular: se puede pasar tanto por las gafasVisión visualAlineación, también se puede pasarCCD+Alineación de la pantalla, fusión óptica, múltiplo máximo óptico400Veces, óptica- sí.Amplificación electrónica800Veces

Tres pares de lentes:4Veces,10Veces,20Veces

Tres pares de gafas:10Veces,16Veces,20Veces

lEl recorrido de la máscara en relación con la muestra:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6Grado

lPotencia de la lámpara de mercurio:200W(dc)

lDensidad de energía de exposición:6mW/cm

2. tamaño exterior:650mm(largo)¿¿ qué?600mm(Ancho(...)¿¿ qué?900mm(alto)

3. configuración

（1) cabeza expuesta

l200WLámpara de mercurio de alta tensión DC importada(Osran, Alemania(...)

lXYZMesa de ajuste de lámparas de mercurio

lSistema óptico

lVentilador de refrigeración

（2) alinear la Mesa de trabajo

lMesa deportiva integral de la muestra de máscara

lLa muestra de máscara se enfrenta a la Mesa de movimiento

lMesa giratoria

lMecanismo de Nivelación de muestras,Manual

lMecanismo de enfoque de muestra, manual

lPlataforma de soporte3Uno..f50mm、?75mm、?100mm(...)

lClip de máscara4Uno..2.5Pulgadas,3Pulgadas,4Pulgadas,5Pulgada)

lMecanismo superior e inferior de extracción de máscara

（3) microscopio de alineación

lFuente de luz (guarnición)2Solo) fuente de alimentación

lBinocular y campo de visión doble alinean el cuerpo del microscopio

lGafas oculares3Sí..10Veces,16Veces,20Veces, un total6(individual)

lObjetivo3Sí..4Veces,10Veces,20Veces, un total6(individual)

lCCD(taiwán)

l21Pantalla LCD de pulgada

（4) Sistema de control eléctrico

lFuente de alimentación de activación de la lámpara de mercurio(200WLámpara de mercurio DC(...)

lSistema de control de un solo chip

lGabinete de control

（5) sistema neumático

lCilindros, válvulas solenoides, válvulas reductoras de presión, interruptores neumáticos, etc.

lAccionamiento de válvula solenoide

lInstrumentos neumáticos

（6Otros anexos

lUna bomba de vacío

lTuberías

（7) información técnica

lInstrucciones de uso y mantenimiento

lInstrucciones de uso del microscopio