En la actualidad, la máquina de manipulación de obleas de la serie AWL cuenta con dos modelos, awl046 y awl068, que se pueden aplicar a la detección de obleas de 4 / 6 pulgadas y la detección de obleas de 6 / 8 pulgadas, respectivamente. su gama de adaptación es amplia, y la combinación es flexible, el modo de Inspección se puede configurar libremente, lo que se ajusta plenamente al diseño ergonómico, la operación es cómoda y fácil.

Serie AWLVentajas del sistema de inspección de obleas

● inspección macro de 360 °

El sistema de inspección de obleas de la serie AWL tiene un brazo de Inspección macro, que puede lograr una rotación de 360 ° de la inspección macro de la superficie cristalina y la inspección macro de la espalda cristalina 1, y es más fácil encontrar cicatrices y polvo. La obleas se puede observar inclinada a voluntad a través de la palanca de operación. El ángulo de inclinación de la superficie cristalina ≤ 70 °, el ángulo de inclinación de la espalda cristalina 1 ≤ 90 °, el ángulo de inclinación de la espalda cristalina 2 ≤ 160 °, utilizando la función de rotación y el ángulo de inclinación, se puede inspeccionar visualmente todo el lado positivo, negativo y borde del círculo cristalino.

● diseño de ergonomía

La pantalla LCD del sistema de inspección de obleas puede proporcionar a los operadores una experiencia visual más intuitiva, puede mostrar claramente los proyectos y órdenes de Inspección actuales, y los parámetros de puesta en marcha son claros de un vistazo.

La liberación manual rápida de la Plataforma de vacío del sistema de inspección de obleas puede mejorar la comodidad y la eficiencia del operador.

Caso de aplicación de inspección de defectos de obleas

Serie AWLEspecificaciones técnicas del sistema de inspección de obleas