Miembros VIP
Sistema de inspección de obleas olímpicas de 12 pulgadas
Hay dos modelos principales del sistema de inspección de obleas olímpicas de 12 pulgadas, los modelos son al120 - lmb12 - LP y al120 - lmb12 - F. El s
Detalles del producto
Las principales características del sistema de inspección de obleas olímpicas de 12 pulgadas:
● transmisión robusta, confiable y segura
El sistema de inspección de obleas olímpicas de 12 pulgadas continúa la robustez, fiabilidad y seguridad de la generación anterior, puede transportar obleas de 300 mm de manera segura y confiable, y las obleas de Warp también se pueden transportar de manera segura.
● diseño ergonómico, fácil de operar
El sistema de inspección de obleas olímpicas de 12 pulgadas puede establecer libremente el modo de inspección, teniendo en cuenta la operatividad en la ingeniería de la pista trasera en el diseño, prestando especial atención a la facilidad de operación del equipo. Corresponden a dos modelos, foup (load port) y fosb, respectivamente.
La optimización de la posición de observación macro del sistema de inspección de obleas olímpicas de 12 pulgadas y la disposición centralizada de las unidades operativas mejoran la operatividad del equipo.
Especificaciones técnicas del sistema automático de inspección de obleas de 300 mm al120 - 12
Modelo |
AL120-LMB12-LP |
AL120-LMB12-F |
Tamaño de la obleas |
300 mm (semi m1,15 t = 775 μm) opcional: 200 mm |
|
Número de cajas de tarjetas |
Caja única (carga y descarga) |
|
La Caja de tarjetas establece la altura |
900 mm |
|
Puerto de carga |
Sí |
Ninguno |
Orden de manipulación |
Macroscopia superficial, macroscopia interna, Microscopía |
|
Modo de Inspección |
Todas las inspecciones, inspecciones por muestreo |
|
Calibración de obleas |
Anillo central sin contacto |
|
Método de manipulación de obleas |
Manipulación mecánica de adsorción al vacío |
|
Microscopio aplicable |
Microscopio de inspección de semiconductores mx61l |
|
Entorno de aplicación |
AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz ， Vacío - 67 ~ - 80 kPa |
|
Plataforma de carga |
La Mesa de carga de succión manual XY tiene un mecanismo de ajuste / ajuste grueso XY y rotación de 360 grados. |
|
Peso (excluyendo el microscopio) |
Unos 360 kg |
Unos 270 kg |
Consulta en línea
-
Contactos
-
Empresa
-
Teléfono
-
Correo electrónico
-
Wechat
-
Código de verificación
-
Contenido del mensaje
-